Кафедра Студентам Преподавателям Абитуриентам

Кафедра микроэлектроники (МЭ)

Направления подготовки студентов (бакалавров, магистров, специалистов)

  • 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств» (квалификация бакалавр техники и технологии);
  • 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств» (квалификация  магистр техники и технологии);

Подготовка кадров высшей квалификации

  • 05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»;
  • 05.13.06 «Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами».

Основные направления научных исследований

  • конструирование и разработка микроэлектромеханических систем (МЭМС);
  • разработка конструктивно-технологических принципов создания микромеханических приборов: микрогироскопов, акселерометров, датчиков и др.;
  • разработка конструктивно-технологических принципов построения микроэлектронных устройств и компьютерно-интегрированной технологии их производства на основе современной элементной базы, включая вопросы создания многокристальных микромодулей;
  • разработка и исследование технологических процессов формирования структур «кремний-на-изоляторе» базовых структур ИМС для специальной аппаратуры и гражданского применения;
  • разработка и исследование средств бесконтактной идентификации.