Кафедра Студентам Преподавателям Абитуриентам

Разработка МЭМС/НЭМС

В МИЭТ разрабатываются и изготавливаются элементы МЭМС, инерциальные измерительные системы и блоки датчиков, интегральные схемы обработки сигналов.

Основные разработки в области МЭМС и МОЭМС:

В МИЭТ имеются производственные мощности для разработок и серийного изготовления МЭМС, оборудование и программное обеспечение для:

  • разработки (лаборатория проектирования);
  • производства (технологический центр);
  • контроля технологических параметров (лаборатория микроскопии);
  • исследования функциональных параметров и аттестации приборов, датчиков и систем (лаборатории испытаний).

На кафедре «Микроэлектроника» разработаны конструкции и технологии производства МЭМС в полном цикле. Все этапы изготовления осуществляются на территории университета и особой экономической зоны технико-внедренческого типа «Зеленоград» (полностью отечественное производство).

Существующая на сегодняшний день линейка разработанных МИЭТ МЭМС ДУС и МЭМС-акселерометров и их характеристики позволяет создавать автономные системы навигации и ориентации для периодически корректируемых изделий не только общего, но и специального назначения в отечественной авиационной, космической и оборонной промышленности.

Ведутся исследования по улучшению характеристик МЭМС-сенсоров с целью разработки автономных навигационных приборов с более высокими точностными характеристиками, чем имеющиеся на сегодняшний день.