Кафедра Студентам Преподавателям Абитуриентам

Разработка тепловых микроактюаторов для МЭМС и МОЭМС и устройств на их основе

В МИЭТ осуществляется разработка и изготовление микрооптоэлектромеханических систем (МОЭМС), содержащих исполнительные механизмы, работающие на принципах теплового расширения (тепловых микроактюаторах).

Ключевым компонентом такой МОЭМС является микромеханическое зеркало, представляющее собой отражающий элемент, установленный на подвижном подвесе.

Матрица микромеханических зеркал объединяет тысячи таких элементов, каждый из которых может отдельно управляться благодаря системе управления.


Микрозеркальный элемент, приводимый в движение тепловыми микроактюаторами



Матрица из 10 000 микромеханических зеркал с системой управления


На кафедре «Микроэлектроника» разработаны конструкции и технологии производства данной МОЭМС в полном цикле. Все этапы изготовления осуществляются на территории университета и особой экономической зоны технико-внедренческого типа «Зеленоград» (полностью отечественное производство).


Изучение экспериментального образца МОЭМС с помощью оптического микроскопа и зондовой станции


В настоящий момент ведутся исследования по улучшению характеристик разработанной МОЭМС с целью применения её в конечных устройствах, таких как системы адаптивной оптики, лазерные оптические системы, оптические сканеры, системы отображения информации.

МИЭТ имеет в распоряжении производственные мощности для разработок и серийного изготовления таких МОЭМС, а также оборудование и программное обеспечение для:

  • разработки (Лаборатория проектирования аналоговых узлов ИМС. Лаборатория проектирования цифровых узлов ИМС);
  • производства (НПК «Технологический центр»);
  • контроля технологических параметров (Научно-исследовательская лаборатория электронной микроскопии (НИЛ ЭМИ));
  • исследования функциональных параметров и аттестации приборов, датчиков и систем (Научно-исследовательская лаборатория «Сборка и испытания электронных компонентов» (НИЛ ЭК)).