Виноградов Анатолий Иванович

Виноградов Анатолий Иванович Должность:
      старший преподаватель

Уровень образования:
      ВПО



Краткая биография

В 2007 году защитил диплом по специальности «Проектирование и технология электронно-вычислительных средств».

В 2011 году окончил очную аспирантуру МИЭТ по специальности 05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники».

Сотрудник МИЭТа с 2007 года.

В настоящее время занимает должность ассистента преподавателя кафедры микроэлектроники.


Читаемые курсы

  • Технология производства электронно-вычислительных средств

Научная деятельность

Области научных интересов:проектирование и технология электронных средств технология производства полупроводниковых приборов разработка и проектирования фотошаблонов технология производства МЭМС устройств проектирование и технология электронных средств

Ответственный исполнитель ряда НИОКР, выполняемых на кафедре.

Публикации

Опубликовано более 10 работ, соавтор 2 патентов.

Список наиболее значимых опубликованных работ:

  1. Виноградов А.И., Васильев А.А., Зарянкин Н.М., Путря М.Г., Тимошенков С.П. Исследование характеристик плазмохимического реактора с плоским индуктором// Известия вузов Электроника. – М., 2009. №4. С.3-8.
  2. Виноградов А.И., Зарянкин Н.М., Михайлов Ю.А, Тимошенков С.П., Прокопьев Е.П. Оптимизация процесса глубокого плазмохимического травления кремния для элементов МЭМС// Известия вузов Электроника. – М., 2010. №2 (82). С.3-10.
  3. Виноградов А.И., Зарянкин Н.М., Тимошенков С.П. Зондовые исследования характеристик плазмы в реакторе ICP типа // Известия вузов Электроника. – М., 2012. №2 (93).
  4. Виноградов А.И., Зарянкин Н.М., Тимошенков С.П. Оптимизация шероховатости поверхности кремния при процессах глубокого плазмохимического травления элементов МЭМС. Тезисы доклада 3-я Международная научная конференция «Функциональная компонентная база микро- опто- и наноэлектроники» Харьков – 2010.


Назад в раздел